东方中科

深圳证券交易所

股票代码:002819

股票代码

SZ002819

400-650-5566
您的当前位置:天津11选5 > 最新动态
01/28/2011发布双腔刻蚀系统
2011-06-02
  SENTECH开发了一种两腔设备刻蚀金属、电介质、和硅。系统带cassette,实现自动批处理,和手动单片预真空室刻蚀。 六边形传输腔允许在洁净室内只放置Loaddlock 和 cassette。氯和氟刻蚀工艺,通过两个刻蚀腔体分开。衬底电极温度可以在 -30°C --- 200°C之间选择。系统被设计用于加工8 inch的样片,尤其适合研发领域和小批量生产的应用。

波克棋牌 天津11选5 天津11选5 波克棋牌 天津11选5 天津11选5 吉林快3 天津11选5 天津11选5 天津11选5平台