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股票代码:002819

股票代码

SZ002819

400-650-5566
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SENTECH RM1000/RM2000 反射式膜厚仪
产品名称:
反射式膜厚仪
产品型号:
RM1000/RM2000
厂商名称:
SENTECH
商品描述:
紫外可见光谱反射干涉式膜厚仪,又叫白光干涉仪,可测量分析膜厚、光学常数、材料组分。可测量SiNx / mcSi单晶硅太阳能电池防反膜。
  SENTECH ’ Reflectometer RM能够在UV-VIS-NIR光谱范围对单层膜、多层膜和基底材料进行高精度反射光谱测量。可对吸收或透明基底上的透明或弱吸收薄膜分析厚度和折射率

关键特性:
• 高精度反射率测量,非接触,正入射光
• 宽光谱范围,可从 UV至NIR
• 测量反射率曲线R, 薄膜厚度,折射率
• FTPexpert 软件,用于测量薄膜的光学参数
• 测量半导体混合物的组分 (例如: AlGaN on GaN)
• 分析各向异性薄膜

选项:
• 光谱范围扩展至DUV (200 nm)
• 光谱范围拓展至NIR (1700 nm)
• x-y 地貌图扫描样品台和软件
• 摄象头
• PC

技术指标:

型号

RM 1000

RM 2000

测量数据

反射率R

分析和输出

薄膜厚度、折射率和其他数据

薄膜厚度范围

up to 25μm

up to 50μm

膜厚精度度

好于1 nm (对 400 nm SiO /Si)

或好于1%(对厚度大于1000 nm的薄膜)

准确度(1 σ)

0.3 nm (对400 nm SiO2/Si)

测量时间

Typical 300 ms

光谱范围

450-920nm

240-950nm

光斑直径

80μm

0。5mm

光源

稳定的氘灯和卤素灯光源

探测器

SMA光纤输入分光计,高性能光电二极管阵列测量光谱强度

机架

19” 桌面式控制盒

电源

85。。。264 VAC 宽电压范围

电源接口

IEC 60320-C14 (针对不同国家电源而不同)

电源线

针对不同国家电源而不同

网络连接器

RJ-45

对用户PC的需求

桌面式PC、显示器、键盘、鼠标,或笔记本电脑,最低配置

天津11选5600 MHz, 256 MB, 100Mbit网卡(100Base-T), CD-ROM, WinXP系统

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